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LFGS - RF-Plasma-Generatoren
Wirtschaftlicher, auf die Plasmabearbeitung zugeschnittener Mittelfrequenzgenerator
- Großer Ausgangsfrequenzbereich
- Kompakte Bauweise
- Flexibles Kommunikationsprotokoll
Der vielseitige, frequenzvariable LFGS-Generator (1250 W, 40 bis 500 kHz) eignet sich für eine Vielzahl von Halbleiter- und allgemeinen Plasmaprozessanwendungen, einschließlich Sputtern, reaktives Ionenätzen, Plasmaabscheidung, Polymerisation und Oberflächenbehandlung. Sein kompaktes, luftgekühltes 19″-Gehäuse für die Rackmontage erleichtert die Installation und spart wertvollen Platz. Mit einem Halbbrücken-Verstärkerdesign der Klasse D ermöglicht das LFGS-Netzteil die niedrigste auf dem Markt erhältliche Reflexionsleistung.
Vorteile
- Unterstützt eine Vielzahl von Anwendungen
- Zugriff auf die niedrigste auf dem Markt erhältliche Reflexionsleistung
- Leicht zu installieren
- Effiziente Nutzung von wertvollem Platz
Merkmale
- Variable Frequenz
- Luftkühlung
- Erweitertes Bedienmenü , Aktive Frontplatte
- Impulsbetrieb (0 bis 10 kHz) CEX-Betriebsart 2 analoge Benutzeranschlüsse
- RS-232-, Ethernet- und Profibus-Kommunikation