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ET Serie - Hochspannungsnetzteil

Die 2000-Watt-Hochspannungsnetzteile der ET-Serie verfügen über flexible integrierte Steuerungen mit geringer Restwelligkeit und Rauschen. Es handelt sich um luftisolierte, schnell ansprechende Geräte mit enger Regelung und extrem niedrigen Lichtbogenentladeströmen.

Typische Anwendungen

Halbleiter-Fertigungsanlagen
Ionen-Implantation
Physikalische Gasphasenabscheidung
Elektronenstrahl-Lithographie

Produkte

Datenblätter

Technische Informationen

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Serie	Max. Ausgangsspannung	Max. Ausgangsstrom	Max. Ausgangsleistung	Eingangsspannung	Ripple besser als
ET1R2000	0 – 1 kV	2000 mA	2 kW	Einphasig	0.025%
ET1.5R1300	0 – 1.5 kV	1300 mA	2 kW	Einphasig	0.025%
ET2R1000	0 – 2 kV	1000 mA	2 kW	Einphasig	0.025%
ET3R660	0 – 3 kV	660 mA	2 kW	Einphasig	0.025%
ET5R400	0 – 5 kV	400 mA	2 kW	Einphasig	0.025%
ET6R330	0 – 6 kV	330 mA	2 kW	Einphasig	0.025%

ET8X250	0 – 8 kV	250 mA	2 kW	Einphasig	0.025%
ET8P250	0 – 8 kV	250 mA	2 kW	Einphasig	0.025%
ET8N250	0 – 8 kV	250 mA	2 kW	Einphasig	0.025%
ET8R250	0 – 8 kV	250 mA	2 kW	Einphasig	0.025%

ET10X200	0 – 10 kV	200 mA	2 kW	Einphasig	0.025%
ET10P200	0 – 10 kV	200 mA	2 kW	Einphasig	0.025%
ET10N200	0 – 10 kV	200 mA	2 kW	Einphasig	0.025%
ET10R200	0 – 10 kV	200 mA	2 kW	Einphasig	0.025%

ET12X165	0 – 12 kV	165 mA	2 kW	Einphasig	0.025%
ET12P165	0 – 12 kV	165 mA	2 kW	Einphasig	0.025%
ET12N165	0 – 12 kV	165 mA	2 kW	Einphasig	0.025%
ET12R165	0 – 12 kV	165 mA	2 kW	Einphasig	0.025%

ET15X132	0 – 15 kV	132 mA	2 kW	Einphasig	0.025%
ET15P132	0 – 15 kV	132 mA	2 kW	Einphasig	0.025%
ET15N132	0 – 15 kV	132 mA	2 kW	Einphasig	0.025%
ET15R132	0 – 15 kV	132 mA	2 kW	Einphasig	0.025%

ET20X100	0 – 20 kV	100 mA	2 kW	Einphasig	0.025%
ET20P100	0 – 20 kV	100 mA	2 kW	Einphasig	0.025%
ET20N100	0 – 20 kV	100 mA	2 kW	Einphasig	0.025%
ET20R100	0 – 20 kV	100 mA	2 kW	Einphasig	0.025%

ET25X80	0 – 25 kV	80 mA	2 kW	Einphasig	0.025%
ET25P80	0 – 25 kV	80 mA	2 kW	Einphasig	0.025%
ET25N80	0 – 25 kV	80 mA	2 kW	Einphasig	0.025%
ET25R80	0 – 25 kV	80 mA	2 kW	Einphasig	0.025%

ET30X66	0 – 30 kV	66 mA	2 kW	Einphasig	0.025%
ET30P66	0 – 30 kV	66 mA	2 kW	Einphasig	0.025%
ET30N66	0 – 30 kV	66 mA	2 kW	Einphasig	0.025%
ET30R66	0 – 30 kV	66 mA	2 kW	Einphasig	0.025%

ET40X50	0 – 40 kV	50 mA	2 kW	Einphasig	0.025%
ET40P50	0 – 40 kV	50 mA	2 kW	Einphasig	0.025%
ET40N50	0 – 40 kV	50 mA	2 kW	Einphasig	0.025%
ET40R50	0 – 40 kV	50 mA	2 kW	Einphasig	0.025%

ET50X40	0 – 50 kV	40 mA	2 kW	Einphasig	0.025%
ET50P40	0 – 50 kV	40 mA	2 kW	Einphasig	0.025%
ET50N40	0 – 50 kV	40 mA	2 kW	Einphasig	0.025%
ET50R40	0 – 50 kV	40 mA	2 kW	Einphasig	0.025%

ET60X33	0 – 60 kV	33 mA	2 kW	Einphasig	0.025%
ET60P33	0 – 60 kV	33 mA	2 kW	Einphasig	0.025%
ET60N33	0 – 60 kV	33 mA	2 kW	Einphasig	0.025%
ET60R33	0 – 60 kV	33 mA	2 kW	Einphasig	0.025%

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