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ET-Serie - Hochspannungsnetzteil

Die 2000-Watt-Hochspannungsversorgungen der ET-Serie verfügen über flexible integrierte Steuerungen mit geringer Restwelligkeit und Rauschen. Sie sind luftisolierte, schnell ansprechende Geräte mit enger Regelung und extrem niedrigen Lichtbogenentladeströmen.

Typische Anwendungen

  • Halbleiter-Fertigungsanlagen
  • Ionen-Implantation
  • Physikalische Gasphasenabscheidung
  • Elektronenstrahl-Lithographie