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ET-Serie - Hochspannungsnetzteil
Die 2000-Watt-Hochspannungsversorgungen der ET-Serie verfügen über flexible integrierte Steuerungen mit geringer Restwelligkeit und Rauschen. Sie sind luftisolierte, schnell ansprechende Geräte mit enger Regelung und extrem niedrigen Lichtbogenentladeströmen.

Typische Anwendungen
- Halbleiter-Fertigungsanlagen
- Ionen-Implantation
- Physikalische Gasphasenabscheidung
- Elektronenstrahl-Lithographie
Serie | Max. Ausgangsspannung | Max. Ausgangsstrom | Max. Ausgangsleistung | Eingangsspannung | Restwelligkeit besser als |
ET1R2000 | 0 - 1 kV | 2000 mA | 2 kW | Einphasig | 0.025% |
ET1.5R1300 | 0 - 1,5 kV | 1300 mA | 2 kW | Einphasig | 0.025% |
ET2R1000 | 0 - 2 kV | 1000 mA | 2 kW | Einphasig | 0.025% |
ET3R660 | 0 - 3 kV | 660 mA | 2 kW | Einphasig | 0.025% |
ET5R400 | 0 - 5 kV | 400 mA | 2 kW | Einphasig | 0.025% |
ET6R330 | 0 - 6 kV | 330 mA | 2 kW | Einphasig | 0.025% |
ET8X250 | 0 - 8 kV | 250 mA | 2 kW | Einphasig | 0.025% |
ET8P250 | 0 - 8 kV | 250 mA | 2 kW | Einphasig | 0.025% |
ET8N250 | 0 - 8 kV | 250 mA | 2 kW | Einphasig | 0.025% |
ET8R250 | 0 - 8 kV | 250 mA | 2 kW | Einphasig | 0.025% |
ET10X200 | 0 - 10 kV | 200 mA | 2 kW | Einphasig | 0.025% |
ET10P200 | 0 - 10 kV | 200 mA | 2 kW | Einphasig | 0.025% |
ET10N200 | 0 - 10 kV | 200 mA | 2 kW | Einphasig | 0.025% |
ET10R200 | 0 - 10 kV | 200 mA | 2 kW | Einphasig | 0.025% |
ET12X165 | 0 - 12 kV | 165 mA | 2 kW | Einphasig | 0.025% |
ET12P165 | 0 - 12 kV | 165 mA | 2 kW | Einphasig | 0.025% |
ET12N165 | 0 - 12 kV | 165 mA | 2 kW | Einphasig | 0.025% |
ET12R165 | 0 - 12 kV | 165 mA | 2 kW | Einphasig | 0.025% |
ET15X132 | 0 - 15 kV | 132 mA | 2 kW | Einphasig | 0.025% |
ET15P132 | 0 - 15 kV | 132 mA | 2 kW | Einphasig | 0.025% |
ET15N132 | 0 - 15 kV | 132 mA | 2 kW | Einphasig | 0.025% |
ET15R132 | 0 - 15 kV | 132 mA | 2 kW | Einphasig | 0.025% |
ET20X100 | 0 - 20 kV | 100 mA | 2 kW | Einphasig | 0.025% |
ET20P100 | 0 - 20 kV | 100 mA | 2 kW | Einphasig | 0.025% |
ET20N100 | 0 - 20 kV | 100 mA | 2 kW | Einphasig | 0.025% |
ET20R100 | 0 - 20 kV | 100 mA | 2 kW | Einphasig | 0.025% |
ET25X80 | 0 - 25 kV | 80 mA | 2 kW | Einphasig | 0.025% |
ET25P80 | 0 - 25 kV | 80 mA | 2 kW | Einphasig | 0.025% |
ET25N80 | 0 - 25 kV | 80 mA | 2 kW | Einphasig | 0.025% |
ET25R80 | 0 - 25 kV | 80 mA | 2 kW | Einphasig | 0.025% |
ET30X66 | 0 - 30 kV | 66 mA | 2 kW | Einphasig | 0.025% |
ET30P66 | 0 - 30 kV | 66 mA | 2 kW | Einphasig | 0.025% |
ET30N66 | 0 - 30 kV | 66 mA | 2 kW | Einphasig | 0.025% |
ET30R66 | 0 - 30 kV | 66 mA | 2 kW | Einphasig | 0.025% |
ET40X50 | 0 - 40 kV | 50 mA | 2 kW | Einphasig | 0.025% |
ET40P50 | 0 - 40 kV | 50 mA | 2 kW | Einphasig | 0.025% |
ET40N50 | 0 - 40 kV | 50 mA | 2 kW | Einphasig | 0.025% |
ET40R50 | 0 - 40 kV | 50 mA | 2 kW | Einphasig | 0.025% |
ET50X40 | 0 - 50 kV | 40 mA | 2 kW | Einphasig | 0.025% |
ET50P40 | 0 - 50 kV | 40 mA | 2 kW | Einphasig | 0.025% |
ET50N40 | 0 - 50 kV | 40 mA | 2 kW | Einphasig | 0.025% |
ET50R40 | 0 - 50 kV | 40 mA | 2 kW | Einphasig | 0.025% |
ET60X33 | 0 - 60 kV | 33 mA | 2 kW | Einphasig | 0.025% |
ET60P33 | 0 - 60 kV | 33 mA | 2 kW | Einphasig | 0.025% |
ET60N33 | 0 - 60 kV | 33 mA | 2 kW | Einphasig | 0.025% |
ET60R33 | 0 - 60 kV | 33 mA | 2 kW | Einphasig | 0.025% |
Eingangsspannung Ausgangsspannung Ausgangsleistung | Polarität Betriebs-Umgebungstemperatur Restwelligkeit | Programmierung Normen |