Navigator II - RF Match Networks - HVP: High Voltage Products GmbH

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Navigator II - RF Match Netzwerke

Schnelles, genaues und zuverlässiges digitales Matching

Die fortschrittliche digitale Technologie des Navigator ll-Anpassungsnetzwerks beschleunigt die Abstimmung und die Reaktionszeit bei der Anpassung.

  • Führende RF-Plasmamethodik und -kontrolle
  • Erweiterte Pulssteuerung mit Tune-while-Pulsing-Funktion
  • Noch nie dagewesene Einblicke in Plasma mit dem integrierten Z'Scan II
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SPS Series

• Digitale Architektur mit modellbasierten Schnellabstimmungsalgorithmen
• Gepulste RF-Leistungsabgabe
• Wobbelfrequenzbetrieb
• Störfestigkeit gegen Intermodulationsverzerrungen (IMD) für Mehrfrequenzanwendungen
• Prozessleistung und Impedanzmessung in Echtzeit

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AA Series

• Digitale Architektur mit modellbasierten Schnellabstimmungsalgorithmen
• Gepulste RF-Leistungsabgabe
• Wobbelfrequenzbetrieb
• Störfestigkeit gegen Intermodulationsverzerrungen (IMD) für Mehrfrequenzanwendungen
• Prozessleistung und Impedanzmessung in Echtzeit

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• Digitale Architektur mit modellbasierten Schnellabstimmungsalgorithmen
• Gepulste RF-Leistungsabgabe
• Wobbelfrequenzbetrieb
• Störfestigkeit gegen Intermodulationsverzerrungen (IMD) für Mehrfrequenzanwendungen
• Prozessleistung und Impedanzmessung in Echtzeit

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• Digitale Architektur mit modellbasierten Schnellabstimmungsalgorithmen
• Gepulste RF-Leistungsabgabe
• Wobbelfrequenzbetrieb
• Störfestigkeit gegen Intermodulationsverzerrungen (IMD) für Mehrfrequenzanwendungen
• Prozessleistung und Impedanzmessung in Echtzeit

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